特許

J-GLOBAL ID：200903048698353951

照明システム

発明者： ヨハネス・ヴングラー ,  ゲラルド・リヒター
出願人/特許権者： カール・ツアイス・スティフツング
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-152749
公開番号（公開出願番号）：特開平8-006175
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 素子を変更せずに多数の照明モードを可能にする。【構成】 コヒーレンス度σを変化させるズームレンズ(2)と、間隔が調整自在である2つのアキシコン(22,23)とを含む光学系、特にマイクロリソグラフィ用投影露光システムの照明システム。

請求項（抜粋）：

2つのアキシコン(22,23)を有する光学系、特にマイクロリソグラフィ用投影露光システムの照明システムにおいて、コヒーレンス度σを変化させズームレンズ(2)が設けられ、前記2つのアキシコン(22,23)がこのズームレンズ(2)内に組込まれ、かつそのアキシコンの間隔が調整自在であることを特徴とする照明システム。

IPC (6件)：

G03B 27/54 ,  F21M 1/00 ,  F21V 7/04 ,  G02B 6/00 331 ,  G03B 27/42 ,  G03F 7/20

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-263451   出願人：日本電気株式会社
• 照明装置及びそれを用いた投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-108632   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平1-191801
  
• 特開平2-048627
  
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-260766   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭62-066218