特許
J-GLOBAL ID：200903048728928903
フォトレジスト剥離剤組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 信也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-129699
公開番号（公開出願番号）：特開2008-286881
出願日： 2007年05月15日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】FPD製造工程において、Al又はAl合金配線を腐食することなく、かつ、Cu又はCu合金配線を腐食することなく、フォトレジストを剥離できるフォトレジスト剥離剤組成物を提供する。【解決の手段】マルトール、2,6-ジメチルガンマピロン、4-ヒドロキシ-6-メチル-2-ピロン、4-ヒドロキシクマリン、2,4-ジヒドロキシキノリン、2-アミノ-4,6-ジヒドロキシピリミジン、2,4-ジアミノ-6-ヒドロキシピリミジン、2-アミノ-4-ヒドロキシ-6-メチルピリミジン、4,6-ジメチル-2-ヒドロキシピリミジン、ウラシル及び6-メチルウラシルからなる群から選択される少なくとも1種の複素環式化合物0.05〜10重量%、一級若しくは二級のアルカノールアミン又はアルキルアミン5〜45重量%、極性有機溶剤30〜94.85重量%、糖アルコール0.1〜10重量%含有するフォトレジスト剥離剤組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
フラットパネルディスプレイ製造工程で用いられるフォトレジスト剥離剤であって、下記一般式(1)の構造を有する化合物及び下記一般式(2)の構造を有する化合物からなる群から選択される少なくとも1種の複素環式化合物(A)を0.05〜10重量%、一級又は二級のアルカノールアミン及び一級又は二級のアルキルアミンからなる群から選択される少なくとも1種のアミン(B)を5〜45重量%、極性有機溶剤(C)を30〜94.85重量%、糖アルコール(D)を0.1〜10重量%含有することを特徴とするCu又はCu合金配線形成とAl又はAl合金配線形成のためのフォトレジスト剥離剤組成物。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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