特許

J-GLOBAL ID：200903048849750826

微小試料台集合体の製造方法、微小試料台の製造方法および試料ホルダの製造方法

発明者： 池田 大輔
出願人/特許権者： アオイ電子株式会社
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-334177
公開番号（公開出願番号）：特開2009-156678
出願日： 2007年12月26日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：

【課題】微小試料台の個片化作業が容易な微小試料台集合体を提供すること。【解決手段】シリコンウエハには、複数本の梁部30が平行して配列され、各梁部30の側面には、所定間隔で接続部20を介して微小試料台10が一つずつ保持されている。微小試料台10は、接続部20を折るようにして梁部30から分離することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

加工処理が施される微小試料を固定するための微小試料台であって、基部となる第1段と、前記微小試料が固定される固定部となる最上段とが多段形状とされた複数の微小試料台を平板状の基板内に形成した微小試料台集合体の製造方法において、 両端を前記基板の周縁部に接続した複数本の梁部を前記基板内に並べて形成する梁部形成工程と、 前記複数本の梁部の側面に、所定間隔で接続部を複数個設ける接続部形成工程と、 前記複数本の梁部の側面には、前記各接続部に接続される一つの微小試料台を複数個設ける微小試料台形成工程とを備え、 前記梁部と、前記接続部と、前記微小試料台とを除いた領域には前記基板が存在しない隙間空間が形成され、 前記梁部形成工程、接続部形成工程および微小試料台形成工程を並行して行うことを特徴とする微小試料台集合体の製造方法。

IPC (1件)：

G01N 1/28

FI (2件)：

G01N1/28 W ,  G01N1/28 F

Fターム (8件)：

2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC18 ,  2G052GA34 ,  5C001AA01 ,  5C001CC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 試料ホルダ及び試料分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-223167   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 微小試料台集合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-220512   出願人：アオイ電子株式会社

審査官引用 (2件)

• 微小試料台集合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-220512   出願人：アオイ電子株式会社
• 特開平3-076122