特許
J-GLOBAL ID：200903019206545400

試料ホルダ及び試料分析方法

発明者：
矢口 紀恵

矢口 紀恵 について

, 
上野 武夫

上野 武夫 について

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小池 英巳

小池 英巳 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

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株式会社日立サイエンスシステムズ

株式会社日立サイエンスシステムズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223167
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035682
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 設計寸法が0.1μm程度のLSI内部の特定箇所に電圧を直接印加し、デバイス内に生じる現象を観察可能とする。【解決手段】 荷電粒子ビームを用いて、対象試料の任意の領域を微小試料片に加工、摘出する工程に、摘出した微小試料片72に微細導線30a,30bを取り付ける工程、取り付けた微細導線に電圧を印加する工程を加える。
請求項（抜粋）：
試料を取り付けた試料台を保持する手段を備え、試料台に取り付けられた試料が荷電粒子線装置の光軸上に位置するように荷電粒子線装置内に装着される試料ホルダにおいて、試料の所定箇所に電圧を印加するための先端が自由に移動できる一対の微細導線を有することを特徴とする試料ホルダ。
IPC (5件)：
G01N 23/04 ,  G01N 1/28 ,  G01R 31/28 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/20
FI (5件)：
G01N 23/04 ,  H01J 37/20 A ,  G01N 1/28 F ,  G01R 31/28 L ,  G01R 31/28 H
Fターム (33件)：
2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001QA01 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G052AA13 ,  2G052AC28 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052CA04 ,  2G052DA33 ,  2G052GA33 ,  2G052JA04 ,  2G132AA00 ,  2G132AE02 ,  2G132AF12 ,  2G132AF13 ,  2G132AL11 ,  2G132AL12 ,  5C001AA01 ,  5C001BB06 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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