特許

J-GLOBAL ID：200903043456824869

微小試料台集合体

発明者： 今野 隆 ,  池田 大輔
出願人/特許権者： アオイ電子株式会社
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-220512
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033376
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 複数個の微小試料台を保管したり運搬する際の取り扱いを簡便とすること。【解決手段】 微小試料台10の集合体である微小試料台集合体50は、複数の微小試料台10がX方向に直線状に規則正しく配列され、このような列がZ方向に突き抜けた空間SPを挟んでY方向に並列に規則正しく配置されている。微小試料台10同士は、連結リブ60を介して直列に連結され、各列において最も外側にある微小試料台10の一端が接続リブ80を介して外枠70の突起部70aに接続されている。微小試料台10、連結リブ60、外枠70および接続リブ80は、全てシリコン製であり、単結晶シリコンウエハ101から一体で作製される。微小試料台10を分離するときは、連結リブ60、接続リブ80を折って切り離す。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

加工処理が施される微小試料を固定するための微小試料台であって、基部となる第1段と、前記微小試料が固定される固定部となる最上段とが多段形状とされた微小試料台を複数、平板状の素材の面内で2次元的に配列して互いに連結されていることを特徴とする微小試料台集合体。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  H01J 37/20

FI (2件)：

G01N1/28 W ,  H01J37/20 A

Fターム (9件)：

2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052GA34 ,  5C001AA01 ,  5C001CC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 試料ホルダ及び試料分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-223167   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

審査官引用 (3件)

• 試料評価方法、評価用基板及び評価用基板形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-435208   出願人：TDK株式会社
• 透過電子顕微鏡用試料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-023075   出願人：松下電子工業株式会社
• 試料作製装置および試料作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-001665   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ