特許
J-GLOBAL ID：200903048889229770
プローブ針およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109907
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300779
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 ウエハテスト時の接触抵抗が安定せず、テスト結果が不安定であるという課題があった。また、最悪の場合には、LSIに電源や電気信号が印加されなくなり、良品が不良品と判定され、LSIの歩留まりが低下するという課題があった。さらに、プローブ針の寿命が短く、ウエハテスト時のコストが高いという課題があった。【解決手段】 先端部12を単結晶化するものである。
請求項（抜粋）：
先端から所定の距離で屈曲している形状のプローブ針において、先端部を単結晶化したことを特徴とするプローブ針。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/067 G
, H01L 21/66 B
