特許
J-GLOBAL ID：200903048956750197

位置決め装置、ミラー曲り検出方法、位置決め方法およびデバイス製造方法

発明者：
山根 幸男

山根 幸男 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132965
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308434
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 ミラーの曲りの影響を受けない、高精度な位置決めおよび露光を、簡便に行えるようにする。【解決手段】 位置決め対象物3を搭載し、XY平面内でX方向およびY方向に移動可能なXYテーブル5、6と、前記XYテーブルに固定されたX方向ミラー1およびY方向ミラー2と、前記X方向ミラーおよびY方向ミラーにそれぞれX方向およびY方向からレーザ光を照射して各照射点のX方向位置およびY方向位置を計測するX方向のレーザ測長手段およびY方向のレーザ測長手段と、これによって計測されるX方向位置およびY方向位置に基づいて前記XYテーブルのX方向およびY方向の位置決めを行う位置決め制御手段とを備えた位置決め装置において、前記位置決め制御手段は、あらかじめ計測した前記X方向ミラーまたはY方向ミラーの曲りを考慮して前記XYテーブルのX方向またはY方向の位置決めを行う。
請求項（抜粋）：
位置決め対象物を搭載し、XY平面内でX方向およびY方向に移動可能なXYテーブルと、前記XYテーブルに固定されたX方向ミラーおよびY方向ミラーと、前記X方向ミラーおよびY方向ミラーにそれぞれX方向およびY方向からレーザ光を照射して各照射点のX方向位置およびY方向位置を計測するX方向のレーザ測長手段およびY方向のレーザ測長手段と、これによって計測されるX方向位置およびY方向位置に基づいて前記XYテーブルのX方向およびY方向の位置決めを行う位置決め制御手段とを備えた位置決め装置において、前記位置決め制御手段は、あらかじめ計測した前記X方向ミラーまたはY方向ミラーの曲りを考慮して前記XYテーブルのX方向またはY方向の位置決めを行うものであることを特徴とする位置決め装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L 21/68 K ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/24 M ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 520 A
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 露光方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-236938   出願人：株式会社ニコン
  • ステージ駆動方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-076045   出願人：株式会社ニコン

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