特許
J-GLOBAL ID：200903048969161042

基板搬送装置

発明者：
川口 崇文

川口 崇文 について

, 
吾郷 健二

吾郷 健二 について

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小池 土志夫

小池 土志夫 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-050039
公開番号（公開出願番号）：特開2008-218498
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】基板の位置を検出するセンサの数量を低減させて簡素化と低コスト化を実現させた基板搬送装置を提供することができる。【解決手段】始動センサ19Aが、基板Sの中心から見て径方向Rの端面にある第一始動選択点と、基板Sの中心から見て旋回方向θの端面にある第二始動選択点とを検出する。そして、制御装置が、始動センサ19Aの検出結果に基づいて基板中心を演算し、基板Sの中心を補正された引出点RBに搬送させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
円形の基板を支持するハンドを有し、旋回軸の径方向に前記ハンドを直進運動させるアームを前記旋回軸の回りに旋回させて前記基板を始点から終点に搬送する搬送ロボットと、 前記始点に関連付けられる一つの第一の検出点を形成して前記基板の端面が前記第一の検出点にあるか否かを検出する第一のセンサと、 前記第一のセンサの検出結果を受けて前記搬送ロボットを制御する制御部と、を備え、 前記制御部は、 前記基板の中心から見て前記径方向の前記端面にある第一選択点と、前記基板の中心から見て前記旋回方向の前記端面にある第二選択点とがそれぞれ前記第一の検出点を通過する前記ハンドの経路を生成し、前記搬送ロボットを駆動して前記ハンドを前記経路に沿って移動させ、前記第一選択点と前記第二選択点の各々が前記第一の検出点にあるときの前記ハンドの位置に基づいて前記基板の中心の位置を演算し、前記基板の中心を前記終点に搬送させること、 を特徴とする基板搬送装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (13件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA14 ,  5F031JA29 ,  5F031JA51
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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