特許
J-GLOBAL ID：200903064548171591

基板搬送機構及び処理システム

発明者：
石沢 繁

石沢 繁 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-176993
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351883
出願日： 2005年06月16日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】 スループットを高く維持できると共に、基板を搬送目標位置に位置ずれなく正確に移載することができる基板搬送機構を提供する。【解決手段】 円形の基板Wを搬送する基板搬送機構において、基板を保持するピック62を先端に有して屈伸及び旋回可能になされた搬送アーム部60と、前記基板の搬送経路上の待機場所に設けられて前記基板の有無を検出する光センサ部68と、前記待機場所を通って搬送される前記基板の旋回方向と直進方向における前記光センサ部の各出力を検出する出力検出部72と、前記出力検出部で得られた各検出値と、前記基板の予め測定された半径と、予め定められた基準値とに基づいて前記基板の旋回方向のずれ量である旋回ずれ量と直進方向のずれ量である直進ずれ量とを求めるずれ量演算部74と、前記旋回ずれ量と前記直進ずれ量とを相殺するように前記搬送アーム部を制御するアーム制御部76とを備える。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
円形の基板を搬送する基板搬送機構において、 基板を保持するピックを先端に有して屈伸及び旋回可能になされた搬送アーム部と、 前記基板の搬送経路上の待機場所に設けられて前記基板の有無を検出する光センサ部と、 前記待機場所を通って搬送される前記基板の旋回方向と直進方向における前記光センサ部の各出力を検出する出力検出部と、 前記出力検出部で得られた各検出値と、前記基板の予め測定された半径と、予め定められた基準値とに基づいて前記基板の旋回方向のずれ量である旋回ずれ量と直進方向のずれ量である直進ずれ量とを求めるずれ量演算部と、 前記旋回ずれ量と前記直進ずれ量とを相殺するように前記搬送アーム部を制御するアーム制御部と、 を備えたことを特徴とする基板搬送機構。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/02 Z
Fターム (21件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA15 ,  5F031JA28 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031KA10 ,  5F031KA12 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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