面積の大きい無音放電励起ラジエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-531860
公開番号（公開出願番号）：特表2002-503871
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：

【要約】向上された寿命、向上された放射線発生分布、向上された放出放射線分布、高められた放射線放出効率、および改良された冷却手段を有している、半導体の製造に使用する紫外線および真空紫外線ラジエータ(100)を提供する。このラジエータ(100)は新規な電極(106)と、新規な電極構成と、電極間にプラズマを分布するための新規な手段と、新規な冷却手段とを有している。これらの特徴部により、平な表面の高い強さおよび一様な放射線露出を許容するラジエータの小型化を可能にしている。ラジエータは半導体表面の前処理、半導体の薄いフィルムの蒸着、および半導体の薄いフィルムの後蒸着処理に使用される。

請求項（抜粋）：

複数の電極を備え、各電極が電極軸線を有しており、また上記電極を収容する放電空間を境界決めする壁部を備えた無音放電ラジエータにおいて、上記放電空間は誘電放電条件下で放射線を放出することが可能なガスが充填されるようになっており、上記放電空間の少なくとも1つの壁部は放出された放射線の波長に対して実質的に透過性であり、上記電極のうちの少なくとも1つは誘電材内に埋設されており、少なくとも1つの電極と関連した誘電放電部位を分布させる手段を備えていることを特徴とする無音放電ラジエータ。

引用特許：

審査官引用 (13件)

エキシマ発光管
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-285991 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-129167
誘電体バリヤ放電ランプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-246097 出願人：ウシオ電機株式会社

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