特許

J-GLOBAL ID：200903048985060442

制御可能な通過帯域幅を有する減結合スタック型バルク音響共振器の帯域フィルタ

発明者： ラーソン,ザ・サード,ジョン,ディー ,  エリス,ステファン,エル
出願人/特許権者： アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド
代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-538364
公開番号（公開出願番号）：特表2007-510383
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

帯域フィルタ(100)は、下側圧電薄膜共振器(FBAR)(110)と、下側FBARの上に積み重ねられた上側FBAR(120)と、FBAR間にあり、音響減結合材料の層(131)からなる音響減結合器(130)とを有する。FBARの各々は、対向する平面電極(112,114)と、前記電極間の圧電要素(116)とを有する。音響減結合器は、FBAR間の音響エネルギーの結合を制御する。特に、音響減結合器は、FBAR間での直接接触により結合されたものに比べて、FBAR間の音響エネルギーを少なく結合する。低減された音響減結合は、帯域内と帯域外の望ましい特性を帯域フィルタに与える。【選択図】図5B

請求項（抜粋）：

各々が対向する平面電極、及び前記電極間の圧電要素からなる、下側圧電薄膜共振器(FBAR)、及び前記下側FBARの上に積み重ねられた上側FBARと、及び 前記FBAR間にあり、音響減結合材料の層からなる音響減結合器とを含む、帯域フィルタ。

IPC (7件)：

H03H 9/54 ,  H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H03H9/54 Z ,  H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z

Fターム (17件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE05 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108HH02 ,  5J108HH04 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01 ,  5J108MM03 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 共振子構造及びそのような共振子構造を有するフィルター
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-510982   出願人：ノキアコーポレイション
• 反射性の改善された音響鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-551898   出願人：エプコスアクチエンゲゼルシャフト

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Bulk Acoustic Wave Coupled Resonator Filters