特許
J-GLOBAL ID:200903049049606634

飛行時間質量分析計

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2006301150
公開番号(公開出願番号):WO2006-098086
出願日: 2006年01月25日
公開日(公表日): 2006年09月21日
要約:
イオンまたは中性粒子をその導入方向と垂直に加速する方式の飛行時間質量分析計であって、高性能な加速部とレンズ系の特性を有したままで、簡素化、小型化した飛行時間質量分析計を提供するため、加速部が押し出し電極と引き出し電極からなり、該押し出し電極の引き出し電極側の内面が曲面形状であり、該引き出し電極が中心に穴の開いた平板あるいはメッシュ構造を有する平板構造である飛行時間質量分析計、並びに、加速部が押し出し電極と引き出し電極からなり、該押し出し電極が複数の電極で構成され、該押し出し電極近傍での等電位面が曲面形状であり、該引き出し電極が中心に穴の開いた平板あるいはメッシュ構造を有する平板構造であることを特徴とする質量分析計。
請求項(抜粋):
加速部が押し出し電極と、穴の開いた引き出し電極とからなり、 前記押し出し電極の引き出し電極側の内面が曲面形状であって、 前記加速部は、イオンの加速開始位置のずれに伴う飛行時間の分布を収束させるとともに、イオンの導入エネルギーの分布を補正して軌道制御を行うことを特徴とする飛行時間質量分析計。
IPC (2件):
H01J 49/40 ,  H01J 49/10
FI (2件):
H01J49/40 ,  H01J49/10
Fターム (2件):
5C038GG02 ,  5C038GG07
引用特許:
出願人引用 (5件)
  • 質量分析装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-153257   出願人:株式会社日立ハイテクノロジーズ
  • ガス分析用の質量分析計
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-204015   出願人:株式会社堀場製作所
  • 特開昭61-140047号公報
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