特許
J-GLOBAL ID：200903049157448018

筋状欠陥の検査方法と検査装置

発明者：
篠木 秀次

篠木 秀次 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115184
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289319
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】物体表面に存在する筋状の欠陥を照明ムラや斑点から区別して光学的自動的に検出する方法を提供すること。【解決手段】 対象物表面の像を光学的に入力し、デジタル画像とし、任意の画素を注目画素Dj として、Dj からk個離れた正方形に並ぶ画素集合を輪郭画素Nkとし、Nkのうち最大又は最小の明度を持つ画素M1とM2を求め、注目画素からM1、M2に引いた半直線の角度の差Θがπに近い場合にその画素を筋状欠陥の候補点Fj と判断し、結果画像メモリのDj に一定の得点C1をプラスする処理をNkを変えて複数回行い、Dj からM1へ引いた半直線の方向である筋方向Lj を求め同じ操作を原画像の全ての画素{Dj }に対して行い、候補得点{Fj }と筋方向{Lj }を求め、再び任意の画素を注目画素Dj とし、その周囲のW×Wの正方形に含まれる近傍画素のうち求心画素Dk の候補得点Fk を注目画素の候補得点Fj に加え、同じ操作を全ての画素について行い、相加された候補得点{Fj }を得て、得点を二値化し、Fj ≧Qである筋状欠陥領域Gmを求める。
請求項（抜粋）：
対象物表面の像を光学的に入力し、デジタル画像とし、各画素の明度情報を画像メモリに記憶させ、全画素から順に取った任意の画素を注目画素D<SB>j</SB> として、注目画素D<SB>j</SB> からk個離れた正方形に並ぶ画素集合を輪郭画素Nkとし、明度情報から輪郭画素Nkのうち最大又は最小の明度を持つ画素M1を求め、その画素M1の周辺u画素分を除いた残りの輪郭画素Nkのうち最大又は最小の明度を持つ画素M2を求め、注目画素からM1、M2に引いたふたつの半直線の角度の差Θがπ-α≦Θ≦π+α(0<α≦π/3)である場合にその画素が筋状欠陥の候補点F<SB>j</SB> と判断し、結果画像メモリの注目画素D<SB>j</SB> に一定の得点C1を加算しΘがそうでないときは加算しない処理を輪郭画素NkをNsからNeまで変えて複数回行い、注目画素D<SB>j</SB> から注目画素M1へ引いた半直線の方向として注目画素の筋方向L<SB>j</SB> を求め筋方向収容メモリのD<SB>j</SB> の位置に収容し、同じ操作を原画像の全ての画素{D<SB>j</SB> }に対して行い、候補得点{F<SB>j</SB> }と筋方向{L<SB>j</SB> }を求め、再び全画素から順に取った任意の画素を注目画素D<SB>j</SB> とし、その周囲にW×Wの正方形に含まれる近傍画素のうち筋方向が注目画素を向いている求心画素D<SB>k</SB> を求め求心画素D<SB>k</SB> の候補得点F<SB>k</SB> を注目画素の候補得点F<SB>j</SB> に加え、結果画像メモリに格納し、同じ操作を全ての画素について行い、相加された候補得点{F<SB>j</SB> }を得て、ある閾値Qによって画素を二値化し、F<SB>j</SB> ≧Qである画素の集合である筋状欠陥領域Gmを求めることを特徴とする筋状欠陥の検査方法。
IPC (3件)：
G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G06F 15/62 400 ,  G01N 21/88 J ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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