特許
J-GLOBAL ID：200903049164809794
微小構造体およびその製造方法並びにエッチング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-104427
公開番号（公開出願番号）：特開2001-287198
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：
【要約】【課題】 短い製造時間で、滑らかな斜面を有する微小構造体を製造することが可能な微小構造体およびその製造方法並びにエッチング装置を提供する。【解決手段】 基板1上に所定の2次元パターンに形成された複数の薄膜30Aを形成するとともに、各薄膜30Aの側面に基板1に対して傾斜した傾斜面30aを形成し、複数の薄膜30Aを基板1から剥離し、ステージ6上に複数の薄膜30Aを積層することにより、ステージ6上に傾斜部8aを有する微小構造体8が製造される。
請求項（抜粋）：
所定の2次元パターンを有する複数の薄膜が積層されて形成された微小構造体において、前記複数の薄膜のうち少なくとも一部の薄膜は、側面に前記複数の薄膜の積層方向に対して傾斜した傾斜面を備えたことを特徴とする微小構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B81B 1/00
, H01L 21/302 B
5F004AA02
, 5F004BA14
, 5F004BB14
, 5F004CA03
, 5F004CA05
, 5F004DA05
, 5F004DA13
, 5F004DA23
, 5F004EB08
