特許
J-GLOBAL ID：200903049263359555
スムーズなデジタル成分をデジタルフォトリソグラフィーシステムで作成するためのシステムおよび方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
矢口 太郎
, 大森 純一
, 山口 康明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-142448
公開番号（公開出願番号）：特開2004-056100
出願日： 2003年05月20日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】斜めの金属線や曲線的な金属線などのスムーズな成分と、良好な解像度、良好な冗長性、高い光エネルギー効率、高い生産性と解像度が得られるデジタルリソグラフィーの実行方法を提供する。【解決手段】第1ピクセル要素を対象物の第1サイト上に露光する工程と、第2ピクセル要素が第1サイトと整列するよう、対象物をリポジショニングする工程と、第2ピクセル要素の焦点を対象物の第1サイト上に合わせ、これによりこの第2ピクセル要素からの露光が第1ピクセル要素からの露光と全体的にではなく部分的にオーバーラップするようにする工程とを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
対象物上へのデジタルリソグラフィー実行方法であって、
第1ピクセル要素を前記対象物の第1サイト上に露光する工程と、
第2ピクセル要素が前記第1サイトと整列するよう、前記対象物をリポジショニングする工程と、
前記第2ピクセル要素の焦点を前記対象物の前記第1サイト上に合わせ、これによりこの第2ピクセル要素からの露光が前記第1ピクセル要素からの露光と全体的にではなく部分的にオーバーラップするようにする工程と
を有するデジタルリソグラフィー実行方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 529
, G03F7/20 521
5F046AA25
, 5F046AA28
, 5F046BA06
, 5F046CB02
, 5F046CB18
, 5F046CB25
, 5F046DA11
