特許
J-GLOBAL ID：200903089981342158
スムーズなデジタル成分を作成するためのデジタルフォトリソグラフィーシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
矢口 太郎
, 大森 純一
, 山口 康明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-543335
公開番号（公開出願番号）：特表2004-514280
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【解決手段】スムーズな斜め成分の作成が可能なデジタルフォトリソグラフィーシステムが提供される。このシステムは、変形可能なミラーデバイス(digital mirror device、略称DMD)などのデジタルピクセルパネルに第1デジタルパターンを提供するためのコンピュータを含む。このDMDは、複数のウエハーサイト上へ露光するための第1複数ピクセル要素を提供することができる。露光後は、このウェハーをこのサイトの長さより短い距離だけスキャンすることができる。次に前記DMDは、第2複数ピクセル要素を前記対象物の前記複数のウエハーサイト上へ露光するための第2デジタルパターンを受け取る。露光された第2複数ピクセル要素は、露光された第1複数ピクセル要素とオーバーラップする。このオーバーラップが露光される画像への漸進的変更を可能にし、これによってデジタル成分の作成が実現される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
対象物上へのデジタルリソグラフィー実行システムであって、
デジタル画像から第1ピクセル要素を生成するピクセルパネルと、
前記第1ピクセル要素の焦点を露光用の前記対象物の第1サイト上に合わせるポイントアレーと、
第2ピクセル要素が前記第1サイトに整列するよう、前記ピクセルパネルと相対的に前記対象物を移動するためのリポジショニング手段と
を有することにより、
前記ポイントアレーは前記第2ピクセル要素を露光用の前記対象物の前記第1サイト上に露光し、これにより前記第2ピクセル要素からの露光が前記第1ピクセル要素からの露光と全体的にではなく部分的にオーバーラップする
ことを特徴とするデジタルリソグラフィー実行システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 529
, G03F7/20 521
5F046AA06
, 5F046AA11
, 5F046BA05
, 5F046BA07
出願人引用 (3件)
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特表平7-509589
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パタ-ン発生方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-040408
出願人：アテック・コーポレーション
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特開平2-010967
審査官引用 (8件)
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