プラズマ監視装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中井宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270194
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167997
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】プラズマ負荷のプラズマの状態の監視に際し、プラズマ負荷のインピーダンスまたはピーク間電圧の計測精度を向上させる。【解決手段】電源1 と負荷5 との間にインピーダンス変換回路3 を挿入しておく。変換回路の電源側端での電圧V1を検出する電圧検出部3A1と、電流I1を検出する電流検出部3A2 と、電圧と電流との位相差θ1 を検出する位相差検出部3A3と、電圧と電流と位相差とから変換回路の電源側端よりプラズマ負荷側を見たインピーダンスを第1の入力インピーダンスZ1* として演算する第1の入力インピーダンス演算部23c と、変換回路を構成する素子の定数ZC1 * ,ZC2* ,ZL* 及び第1の入力インピーダンスから変換回路の負荷側端より負荷側を見たインピーダンスを第2の入力インピーダンスZ2* として演算する第2の入力インピーダンス演算部23e と、変換回路の負荷側端と負荷との間をつなぐ給電線4 のインピーダンスZs* 及び第2の入力インピーダンスから負荷のインピーダンスを演算するプラズマインピーダンス演算部23f を設ける。

請求項（抜粋）：

高周波電源からインピーダンス変換回路を介して電力が供給されているプラズマ負荷のプラズマの状態を監視するプラズマ監視装置において、前記インピーダンス変換回路の負荷側端での電圧を検出する電圧検出部と、前記インピーダンス変換回路の負荷側端での電流を検出する電流検出部と、前記電圧と電流との位相差を検出する位相差検出部と、前記電圧と電流と前記位相差とから前記インピーダンス変換回路の負荷側端より前記プラズマ負荷側を見たインピーダンスを第2の入力インピーダンスとして演算する第2の入力インピーダンス演算部と、前記インピーダンス変換回路の負荷側端と前記プラズマ負荷との間をつなぐ給電線のインピーダンス及び前記第2の入力インピーダンスから前記プラズマ負荷のインピーダンスを演算するプラズマインピーダンス演算部を備えたプラズマ監視装置。

IPC (6件)：

H05H 1/00 , C23C 14/54 , H01L 21/203 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H05H 1/46

FI (6件)：

H05H 1/00 A , C23C 14/54 B , H01L 21/203 S , H01L 21/205 , H05H 1/46 A , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-368799
インピーダンス整合器の出力電圧測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-167446 出願人：株式会社ダイヘン
プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101851 出願人：イー.エヌ.アイ.-ア.ディビジョン.オブ.アステック.アメリカ.インコーポレイテッド

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