特許
J-GLOBAL ID：200903049420116939

チタン剥離液

発明者：
藤田 康治

藤田 康治 について

, 
野崎 孝志

野崎 孝志 について

, 
石野 由紘

石野 由紘 について


出願人/特許権者：
メルテックス株式会社

メルテックス株式会社 について


代理人 (2件)： 米田 潤三 ,  皿田 秀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-045779
公開番号（公開出願番号）：特開2005-232559
出願日： 2004年02月23日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】チタン薄膜を、他の金属の腐食を極めて低く抑えながら高いエッチング速度で除去することが可能な剥離液を提供する。【解決手段】チタン剥離液を、フッ素化合物および還元力をもつ金属イオンを含有したpH5以下の水溶液とし、還元力をもつ金属イオンによる他の金属の腐食抑制効果を発現させながら、フッ素化合物によりチタンを高いエッチング速度でエッチングすることを可能とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
フッ素化合物および還元力をもつ金属イオンを含有するpH5以下の水溶液であることを特徴とするチタン剥離液。
IPC (3件)：
C23F1/00 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308
FI (3件)：
C23F1/00 103 ,  C23F1/26 ,  H01L21/308 F
Fターム (12件)：
4K057WA10 ,  4K057WA20 ,  4K057WB08 ,  4K057WE07 ,  4K057WE30 ,  4K057WF01 ,  4K057WF06 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043GG04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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