特許
J-GLOBAL ID:200903049483957844
機能素子およびその製造方法、流体吐出ヘッド、並びに印刷装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-184547
公開番号(公開出願番号):特開2006-007459
出願日: 2004年06月23日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。【解決手段】た開口3を封止することで形成される中空構造部分2を有した機能素子1において、前記開口3の断面形状を、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成し、開口側壁部分が垂直面である場合に比べて、開口形成時の残渣物の除去を容易にし、前記開口3を封止する封止膜5の成膜材料を堆積させるのも容易にする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
開口を封止することで形成される中空構造部分を有した機能素子において、
前記開口の断面形状が、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成されている
ことを特徴とする機能素子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG54
, 2C057AG99
, 2C057AP02
, 2C057AP31
, 2C057AP51
, 2C057BA04
, 2C057BA15
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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