輪郭パターン検査方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323188
公開番号（公開出願番号）：特開2002-133427
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】対象物の大きさ、傾き、かすれ、濃度むらなどの影響を受けずに、実用に適した輪郭パターンの検査を行う。【解決手段】対象物を撮像して得られたディジタル濃淡画像データが画像メモリ3に格納されると、制御部8は、この濃淡画像上のエッジを抽出した後、画像上の所定位置に基準点を設定し、この基準点から見た方向毎のエッジの度合を示すヒストグラムを作成する。さらに制御部8は、作成されたヒストグラムを輪郭パターンが適正なモデルの画像により作成した基準のヒストグラムと比較することによって、対象物の輪郭パターンの適否を判別する。

請求項（抜粋）：

対象物を撮像して得られた濃淡画像上でエッジを抽出するとともに、前記濃淡画像上の所定位置に基準点を設定して、画像上におけるエッジの度合を前記基準点から見た方向毎に示したヒストグラムを作成し、このヒストグラムを輪郭パターンが適正な場合に得られる基準のヒストグラムと比較して前記対象物の輪郭パターンの適否を判別することを特徴とする輪郭パターン検査方法。

IPC (4件)：

G06T 7/60 300 , G01B 11/24 , G06T 1/00 305 , G06T 7/00 300

FI (5件)：

G06T 7/60 300 A , G06T 1/00 305 A , G06T 7/00 300 G , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K

Fターム (33件)：

2F065AA12 , 2F065AA56 , 2F065AA61 , 2F065CC25 , 2F065DD11 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ34 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065RR05 , 2F065RR09 , 2F065TT03 , 5B057AA03 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC08 , 5B057DC16 , 5B057DC19 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096FA06 , 5L096FA34 , 5L096FA35 , 5L096FA67 , 5L096GA51

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭58-018776
画像処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-175843 出願人：松下電工株式会社
距離を方向の関数として用いる画像処理
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-197243 出願人：ゼロックスコーポレイション

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