特許
J-GLOBAL ID:200903049573339520
シリカガラス成形ブランク製品及びその研磨加工製品並びにそれらの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-371790
公開番号(公開出願番号):特開2004-203639
出願日: 2002年12月24日
公開日(公表日): 2004年07月22日
要約:
【課題】欠陥が少なく長寿命のシリカガラスの研磨加工製品、並びに当該研磨加工製品が僅かな研磨加工によって得られるブランク製品を提供する。【解決手段】粒径が0.01〜20μmの球状粒子からなり、粒径分布が0.1〜0.5μmの小径側と、1〜5μmの大径側に極大分布ピークを有し、大径側ピーク粒径/小径側ピーク粒径比が5〜10であるシリカガラス粉末を射出成形し、脱脂後、温度1200〜1400°Cで真空焼結してブランク製品を得、当該ブランク製品を研磨して欠陥等が少ない長寿命の研磨加工製品を得る。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの面の研磨加工前における表面粗さRaが0.05〜0.5μm、見掛密度が2.1〜2.2g/cm3である非晶質のシリカガラス成形ブランク製品。
IPC (2件):
FI (4件):
C03B20/00 C
, C03B20/00 E
, C03B20/00 K
, C03C19/00 Z
Fターム (7件):
4G014AH00
, 4G059AA04
, 4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB09
, 4G059AB11
, 4G059AC03
引用特許:
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