特許
J-GLOBAL ID:200903049590547560
微粒子成分分析装置を用いた微粒子の分析方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-139553
公開番号(公開出願番号):特開平11-326178
出願日: 1998年05月21日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】 小さな粒径のものを感度よく測定する微粒子の分析方法を提供する。【解決手段】 微粒子をマイクロ波誘導ブラズマを利用して原子化・イオン化して励起・発光させ、発光した波長の異なる複数の光を電気信号に変換し、前記微粒子の発光波長、発光する回数および発光の強弱から微粒子の成分(元素)を特定する微粒子成分分析装置を用いた微粒子の分析方法において、微粒子の直径と電気信号との換算係数を求めるに際し、一つの元素に対しその元素が発する少なくとも2つの波長を用いて感度比を求め、その感度比に基づいて換算係数を求めるようにした。
請求項(抜粋):
微粒子をマイクロ波誘導ブラズマを利用して原子化・イオン化して励起・発光させ、発光した波長の異なる複数の光を電気信号に変換し、前記微粒子の発光波長、発光する回数および発光の強弱から微粒子の成分(元素)を特定する微粒子成分分析装置を用いた微粒子の分析方法において、微粒子の直径と電気信号との換算係数を求めるに際し、一つの元素に対しその元素が発する少なくとも2つの波長を用いて感度比を求め、その感度比に基づいて換算係数を求めるようにしたことを特徴とする微粒子の分析方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 15/10 A
, G01N 21/73
引用特許: