特許
J-GLOBAL ID：200903049753435233
表面形状欠陥検出方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-168363
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073423
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】平面部材一般における内部表面の局所的形状欠陥を、大きなうねり変形から区別された状態として高精度に検出すること。【解決手段】スクリーン(平面部材の1種)1上の表面1Aを光学的に走査し手居る検出器11からのその表面高さ情報からは、マイクロコンピュター30内でその表面形状が抽出された上、別途推定されている基準面形状との間でその誤差が求められているが、その誤差が設定許容値以上である場合は、局所的形状欠陥が存在しているとして、表面1A上でのその局所的形状欠陥が位置座標として検出されているものである。
請求項（抜粋）：
平面部材における内部表面の形状欠陥を検出するための表面形状欠陥検出方法であって、平面部材における全表面が光学的に走査されることによって、該平面部材における表面形状が走査位置対応の絶対高さ変位量として抽出された後、該平面部材上の表面形状から別途推定された大局的基準面形状と上記表面形状との間の差として、該大局的基準面形状に対する相対高さ変位量が抽出された上、設定許容変位量と比較されることによって、表面の形状欠陥が位置が特定された状態として検出されるようにした表面形状欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01B 11/02
, G01N 21/88
G01B 11/30 C
, G01B 11/02 Z
, G01N 21/88 E
