特許
J-GLOBAL ID:200903049766590122
インクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 坊野 康博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-076376
公開番号(公開出願番号):特開2009-226795
出願日: 2008年03月24日
公開日(公表日): 2009年10月08日
要約:
【課題】基板同士の貼り合わせが不要で、接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】ドライバ回路3を有する基板1の表側に流路形成膜10を形成する工程と、流路形成膜10に溝部を形成する工程と、溝部に犠牲膜を充填する工程と、犠牲膜及び流路形成膜10上に振動膜30を形成する工程と、振動膜30上に圧電素子50を形成する工程と、基板1を裏面側から犠牲膜が露出するまでエッチングしてリザーバ5を形成する工程と、リザーバ5を介して犠牲膜をエッチングし除去する工程と、流路形成膜10にノズル開口部22を形成する工程と、を含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
外部からインク液の供給を受けるリザーバと、前記リザーバに連通する圧力発生室と、前記圧力発生室に連通するノズル開口部と、を備えるインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、
集積回路を有する基板の一方の面側に流路形成膜を形成する工程と、
前記流路形成膜に溝部を形成する工程と、
前記溝部に犠牲膜を充填する工程と、
前記犠牲膜及び前記流路形成膜上に振動膜を形成する工程と、
前記振動膜上に圧電素子を形成する工程と、
前記基板を他方の面側から前記犠牲膜が露出するまでエッチングして前記リザーバを形成する工程と、
前記リザーバを介して前記犠牲膜を除去する工程と、
前記流路形成膜に前記ノズル開口部を形成する工程と、を含むことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
Fターム (9件):
2C057AF93
, 2C057AK07
, 2C057AP02
, 2C057AP31
, 2C057AP33
, 2C057AP51
, 2C057AP53
, 2C057BA05
, 2C057BA14
引用特許: