特許

J-GLOBAL ID：200903049977083871

非走査型波長分散型X線分析装置及びそれを用いた測定方法

発明者： 林 好一 ,  中嶋 一雄
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (6件)： 重信 和男 ,  内野 春喜 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直 ,  秋庭 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-015569
公開番号（公開出願番号）：特開2008-180656
出願日： 2007年01月25日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：

【課題】 本発明は測定時間が短く、試料損傷が少ない波長分散型のX線分析装置を提供することを課題とする。【解決手段】 試料-検出器を結ぶ軸に平行な方向のビームの辺の長さを300μm以下に収束させる制御もしくは制限を行った、X線もしくは電子線を試料に照射し、試料から発生する蛍光X線もしくは特性X線を、円筒面上に対し垂直に結晶方向が制御された、曲率分布結晶レンズの回折現象を用いて、それぞれの波長ごとに異なる位置に集光させ、それらを2次元もしくは1次元型の位置敏感X線検出器で検出することにより、広い波長範囲の蛍光X線もしくは特性X線スペクトルを一度に測定できるようにしたことを特徴とする非走査型波長分散型X線分析装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料-検出器を結ぶ軸に平行な方向のビームの辺の長さを300μm以下に収束させる制御もしくは制限を行った、X線もしくは電子線を試料に照射し、試料から発生する蛍光X線もしくは特性X線を、円筒面上に対し垂直に結晶方向が制御された、曲率分布結晶レンズの回折現象を用いて、それぞれの波長ごとに異なる位置に集光させ、それらを2次元もしくは1次元型の位置敏感X線検出器で検出することにより、広い波長範囲の蛍光X線もしくは特性X線スペクトルを一度に測定できるようにしたことを特徴とする非走査型波長分散型X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/207 ,  G21K 1/06

FI (3件)：

G01N23/207 ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C

Fターム (10件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001EA01 ,  2G001GA01 ,  2G001HA13 ,  2G001KA02 ,  2G001QA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 逆X線光電子ホログラフィー装置及びその測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-118762   出願人：国立大学法人東北大学, 財団法人高輝度光科学研究センター, 独立行政法人日本原子力研究開発機構

審査官引用 (4件)

• X線蛍光分光システム及びX線蛍光分光方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-505939   出願人：エックス-レイオプティカルシステムズインコーポレーテッド
• X線分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-388664   出願人：日本電子株式会社, 日本電子エンジニアリング株式会社
• 逆X線光電子ホログラフィー装置及びその測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-118762   出願人：国立大学法人東北大学, 財団法人高輝度光科学研究センター, 独立行政法人日本原子力研究開発機構
• 特開平4-002955