特許

J-GLOBAL ID：200903050041159840

酸化物透明導電膜及びその製法

発明者： 阿部 能之
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (2件)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200534
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043851
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】可視光領域だけでなく赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する酸化物透明導電膜を提供する。【解決手段】酸化インジウムを主成分とし、タングステン/インジウムの原子数比で0.019〜0.034の割合で、酸化インジウムのインジウムがタングステンに置換され、かつ酸化インジウムは結晶質である。あるいは、スパッタリングによる成膜で形成され、結晶質の酸化インジウムを主成分とし、タングステンを含む酸化物透明導電膜において、実質的に全てのタングステンが酸化インジウムのインジウムに対し置換されている。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

結晶質の酸化インジウムを主成分とし、タングステンを含む酸化物透明導電膜において、タングステン/インジウムの原子数比で0.019〜0.034の割合で、酸化インジウムのインジウムがタングステンに置換されていることを特徴とする酸化物透明導電膜。

IPC (6件)：

C23C14/08 ,  C01G15/00 ,  C03C17/245 ,  C23C14/34 ,  G02B1/10 ,  H01L31/04

FI (6件)：

C23C14/08 D ,  C01G15/00 B ,  C03C17/245 A ,  C23C14/34 ,  H01L31/04 M ,  G02B1/10 Z

Fターム (27件)：

2K009CC03 ,  2K009DD04 ,  2K009EE03 ,  4G059AA08 ,  4G059AC04 ,  4G059AC18 ,  4G059AC20 ,  4G059EA03 ,  4G059EA07 ,  4G059EB04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BC00 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC39 ,  5F051AA05 ,  5F051BA16 ,  5F051CB15 ,  5F051FA02 ,  5F051FA04 ,  5F051FA08 ,  5F051FA24 ,  5F051FA30

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭59-204625
  
• 光起電力素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-224673   出願人：キヤノン株式会社
• 透明電極材料およびそれを用いた電子素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-025638   出願人：スタンレー電気株式会社, 半那純一

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-204625
  
• 光起電力素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-224673   出願人：キヤノン株式会社
• 透明電極材料およびそれを用いた電子素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-025638   出願人：スタンレー電気株式会社, 半那純一
• 特開昭59-204625
  

引用文献：

出願人引用 (1件)

• 真空蒸着法によるIn2O3透明導電膜

審査官引用 (1件)

• 真空蒸着法によるIn2O3透明導電膜