光電子増倍管のゲインリミッタ回路と共焦点顕微鏡システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-224786
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069752
出願日： 2002年08月01日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】ユーザが意識することなく受光素子の保護のための出力電流制限が作動し、かつ、ユーザの望む測定条件に対して不用意に出力電流制限が働くことが少ないゲインリミッタ回路とそれを用いた共焦点顕微鏡システムを提供する。【解決手段】共焦点光学系を介して試料からの光を受光素子で受光し、その受光情報に基づいて試料の表面の高さ情報を取得する共焦点顕微鏡システムにおいて、受光素子19として光電子増倍管が使用され、受光素子19の出力信号は増幅器51及びAD変換器53を経て制御部46に与えられる。受光素子19の出力電流を制限すべく受光素子19のゲインを制御するゲインリミッタ回路52が備えられ、受光素子19の最大定格電流より小さく、かつ、光量検出回路の飽和電流より大きい範囲内にあるしきい値に出力電流が達したときに、出力電流の更なる増加を制限するようにゲインリミッタ回路52が作動する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光電子増倍管を受光素子として使用する光量検出回路において前記受光素子の損傷を防止するために出力電流を制限するゲインリミッタ回路であって、前記受光素子の最大定格電流より小さく、かつ、前記光量検出回路の飽和電流より大きい範囲内にあるしきい値に前記出力電流が達したときに、前記出力電流の更なる増加を制限するように作動することを特徴とする光電子増倍管のゲインリミッタ回路。

IPC (1件)：

G02B21/18

FI (1件)：

G02B21/18

Fターム (5件)：

2H052AA11 , 2H052AB24 , 2H052AC34 , 2H052AD06 , 2H052AF03

引用特許：

審査官引用 (6件)

光電変換率調節可能な光量検出回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-188277 出願人：株式会社キーエンス
共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-191087 出願人：株式会社キーエンス
特開平3-133046

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