特許
J-GLOBAL ID:200903050074535740

周期状分極反転構造の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 興作 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-246386
公開番号(公開出願番号):特開2003-057700
出願日: 2001年08月15日
公開日(公表日): 2003年02月26日
要約:
【要約】【課題】分極反転領域の形状の乱れなどを防止し、良好な形状の周期状分極反転構造を安定的に得ることのできる、新規な周期状分極反転構造の形成方法を提供する。【解決手段】強誘電体単結晶基板1の主面1A上に、周期状に配列された複数の電極片12-1〜12-7を有する第1の電極12と、この第1の電極12に対向して位置するように主面1A及び裏面1B上に、それぞれ第2の電極3A及び3Bを配置する。第1の電極12において、各電極片は、最小の電極幅Wfを有する先端部Fと、最大の電極幅Wbを有する根元部Bとから構成され、先端側から根元側に向けて電極幅が増大した、テーパー形状を呈する。そして、第1の電極12と第2の電極3A及び3Bとの間に、所定の電圧を印加することによって、周期状分極反転構造4を形成する。
請求項(抜粋):
強誘電体単結晶基板の一表面上において、周期状に配列された複数の電極片を有する第1の電極と、この第1の電極と離隔し、対向して位置するように、前記強誘電体単結晶基板の任意の表面上に第2の電極とを配置し、前記第1の電極と前記第2の電極との間に所定の電圧を印加することにより、前記強誘電体単結晶基板内に周期状の分極反転構造を形成する方法であって、前記第1の電極の各電極片を、その幅が先端側から根元側に向けて増大するように、テーパー状に形成したことを特徴とする、周期状分極反転構造の形成方法。
Fターム (11件):
2K002AA01 ,  2K002AA04 ,  2K002AA06 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA03 ,  2K002DA06 ,  2K002EA07 ,  2K002FA26 ,  2K002FA27 ,  2K002HA20
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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