電子部品用環境試験装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：下田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156131
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】カセットの被吸気口に対して、吸気系の吸気口をX方向,Y方向及びZ方向において正確に位置合わせすることにより、常に安定かつ確実に接続し、信頼性をより高める。【解決手段】カセット2が試験装置本体3におけるカセット支持部4に挿入された際に、挿入されたカセット2に係合し、カセット2に設けた被吸気口5...に対して吸気系における吸気口7...のX方向及びY方向の位置を自動で位置決めするとともに、カセット2がカセット支持部4に挿入された後に、吸気口7...と一体の係止部(第一係止部)8が下降することによりカセット2に係合し、被吸気口5...に対して吸気口7...のZ方向の位置を自動で位置決めして、被吸気口5...と吸気口7...を接続する自動吸気系接続部9を備える。

請求項（抜粋）：

電子部品を保持するカセットと、このカセットに保持された電子部品の環境試験を行う試験装置本体を備える電子部品用環境試験装置において、カセットが前記試験装置本体におけるカセット支持部に挿入された際に、挿入されたカセットに係合し、カセットに設けた被吸気口に対して吸気系における吸気口のX方向及びY方向の位置を自動で位置決めするとともに、カセットが前記カセット支持部に挿入された後に、前記吸気口と一体の係止部(第一係止部)が下降することによりカセットに係合し、前記被吸気口に対して前記吸気口のZ方向の位置を自動で位置決めして、前記被吸気口と前記吸気口を接続する自動吸気系接続部を備えることを特徴とする電子部品用環境試験装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01R 31/26

FI (2件)：

H01L 21/66 H , G01R 31/26 H

Fターム (15件)：

2G003AA10 , 2G003AC00 , 2G003AC03 , 2G003AD01 , 2G003AG00 , 2G003AH05 , 4M106AA01 , 4M106BA14 , 4M106CA59 , 4M106CA60 , 4M106DG02 , 4M106DH01 , 4M106DH60 , 4M106DJ02 , 4M106DJ23

引用特許：

出願人引用 (2件)

ウェハバーンイン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-354444 出願人：松下電器産業株式会社
ウェハバーンイン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-040598 出願人：松下電器産業株式会社

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