特許
J-GLOBAL ID：200903050142650587

プロセスフロー作成装置、プロセスフロー作成方法、及び、プロセスフロー作成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者：
佐戸口 勇一

佐戸口 勇一 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035027
公開番号（公開出願番号）：特開平11-232338
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 プロセスフローの作成効率の向上を図ることである。【解決手段】 入力部100より入力された処理条件を保持する条件入力部210と、入力部100より入力された処理条件に合致するレシピの名称をレシピDB400より検索し、この検索の結果が複数存在する場合には、さらに処理条件の入力を要求してレシピの特定を行うレシピ検索部220と、入力部100より入力された工程順序を特定されたレシピの工程順序として保持する工程順序入力部230と、特定されたレシピを順序に関する情報と共にプロセスフローとして表示部300に出力するプロセスフロー出力部240とを有するものである。
請求項（抜粋）：
プロセスフローを作成する装置において、入力された処理条件を保持する条件入力部と、レシピの名称と、そのレシピの処理条件を格納するレシピ格納部と、前記入力された処理条件に合致するレシピの名称を前記レシピ格納部より検索し、レシピの特定を行うレシピ検索部と、入力された工程順序を前記特定されたレシピの工程順序として保持する工程順序入力部と、前記特定されたレシピを順序に関する情報と共にプロセスフローとして出力するプロセスフロー出力部と、を備えることを特徴とするプロセスフロー作成装置。
IPC (2件)：
G06F 17/60 ,  H01L 21/02
FI (2件)：
G06F 15/21 R ,  H01L 21/02 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM