角加速度センサ及び角加速度検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-263386
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101816
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】単一構造の半導体センサを用いた比較的簡単な構成で、特定方向の角加速度を精度良く直接的に検出できるようにする。【解決手段】Y軸回転方向以外の4つの加速度センサエレメントに作用する他の方向の加速度及び角加速度の成分は相殺される。一方において、Y軸周りの角加速度が作用したときのホイートストンブリッジ回路の出力電圧Vは、V=(R1・R4-R2・R3)/(R1+R3)(R2+R4)・Vcc=ΔR/R(1〜4)と表すことができ、したがって、本例の角加速度センサによってY軸回転成分だけを検出することができる。

請求項（抜粋）：

所定方向の加速度が作用したときに変位する質量部と該質量部の変位を検出する検出部とからなる加速度センサエレメントと、前記検出部を介して前記質量部を片持ち支持することによって前記加速度センサエレメントを支持する基部とを備え、特定方向の角加速度のみが検出できるような配置で複数の前記加速度センサエレメントが前記基部に取付けられていることを特徴とする角加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 A , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-202777
半導体加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-107688 出願人：日本電装株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-144474 出願人：日本電装株式会社

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