積層コンデンサの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-040984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243645
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】積層コンデンサの安定した製造方法を提供する。【解決手段】キャリアシートの片面に金属薄膜層を設け、金属薄膜層の面に感光性樹脂を塗布乾燥し、所定の内部電極パターンA、および内部電極パターンBをネガ状態に焼き付け、現像処理により、内部電極形成部の感光性樹脂膜を除去し、内部電極形成部以外の感光性樹脂膜をベークすることによりレジスト膜とする工程と、内部電極パターンA、および内部電極パターンBの内部電極形成部にめっき法によりめっき層を形成して、それぞれめっき層Aおよびめっき層Bを形成して、それぞれキャリアシートAおよびキャリアシートBとする工程と、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシート、キャリアシートB、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシートと順番に繰り返し積層して積層体とする工程および、積層体を加熱圧着し、その後、還元焼成して外部電極を形成する。

請求項（抜粋）：

パターン化されて形成された内部電極の存在のもとに、複数枚のセラミックグリーンシートを積層した積層体を焼成して得られる焼結体を用いた積層コンデンサの製造方法において、1) キャリアシートの片面に金属薄膜層を設け、該金属薄膜層の面に感光性樹脂を塗布乾燥し、所定の内部電極パターンA、および内部電極パターンBをネガ状態に焼き付け、現像処理により、内部電極形成部の感光性樹脂膜を除去し、前記内部電極形成部以外の感光性樹脂膜をベークすることによりレジスト膜とする工程、2)前記内部電極パターンA、および内部電極パターンBの内部電極形成部にめっき法によりめっき層を形成して、それぞれめっき層Aおよびめっき層Bを形成して、それぞれキャリアシートAおよびキャリアシートBとする工程、3)前記グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシート、キャリアシートB、グリーンシート、キャリアシートA、グリーンシートのような順番に繰り返し積層して積層体とする工程、4)該積層体を加熱圧着して、前記キャリアシート及びレジスト膜を加熱加圧により焼失させ、その後、還元焼成して外部電極を形成する工程、からなることを特徴とする積層コンデンサの製造方法。

IPC (3件)：

H01G 4/12 343 , H01G 4/12 364 , H01G 4/30 311

FI (3件)：

H01G 4/12 343 , H01G 4/12 364 , H01G 4/30 311 Z

Fターム (38件)：

5E001AB03 , 5E001AC04 , 5E001AC09 , 5E001AF06 , 5E001AH03 , 5E001AH05 , 5E001AH06 , 5E001AH07 , 5E001AH09 , 5E001AJ01 , 5E082AA01 , 5E082AB03 , 5E082BC38 , 5E082EE05 , 5E082EE18 , 5E082EE23 , 5E082EE26 , 5E082EE37 , 5E082EE39 , 5E082EE47 , 5E082FG06 , 5E082FG26 , 5E082FG54 , 5E082GG10 , 5E082GG11 , 5E082GG28 , 5E082HH43 , 5E082JJ03 , 5E082JJ12 , 5E082JJ23 , 5E082LL01 , 5E082LL02 , 5E082LL03 , 5E082LL35 , 5E082MM21 , 5E082MM22 , 5E082MM24 , 5E082MM26

引用特許：

審査官引用 (5件)

セラミック積層電子部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-059562 出願人：株式会社村田製作所
特開昭59-172711
特開昭59-172711

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