特許

J-GLOBAL ID：200903050175346620

温度制御装置

発明者： 森 勇鋼
出願人/特許権者： 小松エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-031581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240486
出願日： 1994年03月01日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】 追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うことができる温度制御装置を提供する。【構成】 本発明の特徴は、温度制御装置において、熱媒体としての液体を第1の設定温度に維持せしめてなる第1の蓄液タンクと、熱媒体としての液体を第2の設定温度に維持せしめてなる第2の蓄液タンクと、前記第1または第2の蓄液タンクから前記液体を供給することにより目的温度に保持せしめられる温度調節ブロック6と、前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第1または第2の蓄液タンクの切り替えを行う第1の切り替え弁と、前記第1の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置10と、前記第1および第2の蓄液タンクの熱容量は前記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、かつ前記弁制御装置は、第1の切り替え弁を駆動し、いずれの蓄液タンク1から液体を供給するかによって温度調節を行うようにしたことにある。

請求項（抜粋）：

熱媒体としての液体を第1の設定温度に維持せしめてなる第1の蓄液タンクと、熱媒体としての液体を第2の設定温度に維持せしめてなる第2の蓄液タンクと、 前記第1または第2の蓄液タンクから前記液体を供給することにより目的温度に保持せしめられる温度調節ブロックと、前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第1または第2の蓄液タンクの切り替えを行う第1の切り替え弁と、前記第1の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置と、前記第1および第2の蓄液タンクの熱容量は前記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、かつ前記弁制御装置は、前記第1の切り替え弁を駆動し、いずれの蓄液タンクから液体を供給するかによって温度調節を行うようにしたことを特徴とする温度制御装置。

IPC (2件)：

H01L 23/34 ,  H01L 23/473

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 温度サイクル試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063084   出願人：株式会社日立製作所
• 冷熱衝撃試験装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303211   出願人：株式会社日立製作所, 日立清水エンジニアリング株式会社