特許
J-GLOBAL ID:200903050218787188

積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにこれを備えるガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-102069
公開番号(公開出願番号):特開2002-071628
出願日: 2001年03月30日
公開日(公表日): 2002年03月12日
要約:
【要約】【課題】 クラックの発生、発熱抵抗体の断線、積層型センサ素子自体の反り等を十分に防止でき、これまでよりも大きな電圧及び/又は電流の負荷にも耐え得る積層型ガスセンサ素子、及びこの積層型ガスセンサ素子を一体に焼成して得ることのできる効率のよい製造方法並びにこれを備えるガスセンサを提供する。【解決手段】 ジルコニア粉末、アルミナ粉末、バインダ、テオブロミンを含有するペーストを調製し、ドクターブレード法によりシート状に成形した焼成されて多孔質部材22a及び22bとなる多孔質部材用未焼成シートを得る。この多孔質部材用未焼成シートにより、発熱抵抗体21となる未焼成パターンを挟持して、酸素濃淡電池部1及びヒータ部2となる部位を備える未焼成積層体を一体に焼成して積層型ガスセンサ素子Aを得る。
請求項(抜粋):
固体電解質層に検知電極及び基準電極が配設された酸素濃淡電池部と、板状のセラミックヒータ部とが積層された積層型ガスセンサ素子であって、上記セラミックヒータ部は、該セラミックヒータ部の面方向に形成された発熱抵抗体と、該発熱抵抗体を埋設してなる絶縁性多孔質セラミック層と、該絶縁性多孔質セラミック層を該セラミックヒータ部の厚さ方向に挟むヒータ支持層とからなることを特徴とする積層型ガスセンサ素子。
Fターム (3件):
2G004BB04 ,  2G004BJ03 ,  2G004BM07
引用特許:
審査官引用 (7件)
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