MEMS共振器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：角田芳末 , 磯山弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-377302
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142852
出願日： 2003年11月06日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】共振器の合成インピーダンスの低下を可能にし、所要のデバイスへの適用を可能にしたMEMS共振器を提供する。【解決手段】同一基板22上に形成されたビーム構造を有する複数のMEMS共振器素子231〜233が電気的に並列接続されて成る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

同一基板上に形成されたビーム構造を有する複数のMEMS共振器素子が電気的に並列接続されて成ることを特徴とするMEMS共振器。

IPC (3件)：

H03H9/24 , B81B3/00 , B81B7/02

FI (3件)：

H03H9/24 Z , B81B3/00 , B81B7/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

引用文献：

審査官引用 (2件)

前のページに戻る