固体撮像素子、固体撮像装置およびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-178585
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351972
出願日： 2005年06月17日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】入射角が大きい光学系に対応し得る高感度な固体撮像装置等を提供する。【解決手段】各画素(サイズ□2.25μm)は、分布屈折率レンズ1、G用カラーフィルタ2、Al配線3、信号伝送部4、平坦化層5、受光素子(Siフォトダイオード)6、Si基板7から構成されている。分布屈折率レンズの同心円構造は、SiO2(n=2)によって構成されており、膜厚1.2μm(グレー)、0.8μm(ドットパターン)、0μm(パターンなし:白)の2段同心円構造である。また、本実施例の集光素子は、SiO2を同心円形状に掘り込んだ構造であり、周りの媒質は空気(n=1)である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

集光素子を有する固体撮像素子であって、前記集光素子は、入射光の波長と同程度かそれより短い線幅で分割された同心構造の複数のゾーン領域の組み合わせによって構成されており、前記複数のゾーン領域のうち少なくとも一のゾーン領域は、第1線幅および第1膜厚の前記同心構造の下段光透過膜と、当該下段光透過膜の上位に構成される第2線幅および第2膜厚の前記同心構造の上段光透過膜とを含むことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D , H04N5/335 U , H04N5/335 V

Fターム (13件)：

4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA09 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118CA02 , 4M118FA06 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD10 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024EX43

引用特許：

出願人引用 (4件)

回折光学素子およびこれを備えた光学系、光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-176143 出願人：キヤノン株式会社
レンズアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-205966 出願人：松下電器産業株式会社
回折型フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-369589 出願人：富士写真光機株式会社

全件表示

審査官引用 (3件)

レンズアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-205966 出願人：松下電器産業株式会社
回折型フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-369589 出願人：富士写真光機株式会社
マイクロレンズの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-356575 出願人：ソニー株式会社

前のページに戻る