特許
J-GLOBAL ID：200903050314788055
耐プラズマ性部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松山 允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-060816
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356387
出願日： 2002年03月06日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 機械的な強度が補強され、かつ低圧高密度プラズマ曝露に対しても十分耐える耐プラズマ性部材の提供。【解決手段】 アルミナ系基材の少なくともプラズマに曝される表面が、中間層を介するなどして周期律表IIIA族元素の酸化物層で形成されていることを特徴とする。この耐プラズマ性部材の構成において、中間層としては10〜80重量%の周期律表IIIA族元素の酸化物及び90〜20重量%のアルミナで形成されたものが好ましい。また、この中間層として、気孔率が0.2〜5%の粗密質セラミックス層であっても良い。また、アルミナ系基材及び中間層の1600〜1900°Cにおける熱収縮率差が3%以下であることなど、少なくともいずれか一つの条件を備えることがさらに望ましい。
請求項（抜粋）：
アルミナ系基材の少なくともプラズマに曝される表面が、周期律表IIIA族元素の酸化物あるいは複合化合物を含む表面層で形成され、両者の熱膨張差を緩衝する手段が設けられていることを特徴とする耐プラズマ性部材。
IPC (5件)：
C04B 41/89
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
, C23C 14/00
, C23C 16/44
C04B 41/89 A
, H05H 1/46 L
, C23C 14/00 Z
, C23C 16/44 B
, H01L 21/302 B
4K029AA06
, 4K029AA24
, 4K029BA01
, 4K029BA43
, 4K029BB02
, 4K029BC01
, 4K029DC27
, 4K029GA02
, 4K030AA02
, 4K030BA01
, 4K030BA55
, 4K030BB12
, 4K030CA04
, 4K030DA04
, 4K030FA01
, 4K030JA01
, 4K030JA06
, 4K030JA20
, 4K030KA30
, 5F004AA15
, 5F004BA08
, 5F004BB29
, 5F004BD04
