特許

J-GLOBAL ID：200903066219721176

セラミックス部材

発明者： 鈴木 敦 ,  大滝 浩通 ,  岸 幸男
出願人/特許権者： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-368828
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181024
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに対する耐性が高く、しかも熱衝撃性が高いセラミックス部材を提供すること。【解決手段】 ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに曝される部位が、酸化イットリウムを30wt%以上含む酸化物で構成され、気孔率が3%を超え8%以下であるセラミックス部材。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系ガスまたはハロゲンガスプラズマに曝される部位が、酸化イットリウムを30wt%以上含む酸化物で構成され、気孔率が3%を超え8%以下であることを特徴とするセラミックス部材。

IPC (4件)：

C04B 35/44 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/50 ,  B01J 19/02

FI (4件)：

C04B 35/44 ,  C04B 35/50 ,  B01J 19/02 ,  C04B 35/00 H

Fターム (13件)：

4G030AA12 ,  4G030AA36 ,  4G030BA33 ,  4G030CA09 ,  4G031AA08 ,  4G031AA29 ,  4G031BA26 ,  4G075AA30 ,  4G075AA53 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA47 ,  4G075FB04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-042604   出願人：京セラ株式会社
• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201566   出願人：京セラ株式会社
• YAG系セラミックス原料及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-276594   出願人：第一稀元素化学工業株式会社
• 真空容器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-160569   出願人：京セラ株式会社