積層体、耐蝕性部材および耐ハロゲンガスプラズマ用部材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-376151
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001865
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】アルミナからなる基体と、この基体上に形成されている膜との積層体であって、膜が基体から剥離しにくく、特には腐食物質に接触した後においても膜が剥離しにくいようにする。【解決手段】アルミナからなる基体と、基体上に形成されているイットリウム化合物膜との積層体を提供する。基体とイットリウム化合物膜との界面に沿って、アルミナとイットリア化合物との反応生成物からなる中間層を備えている。イットリウム化合物膜は、イットリアを含むことが好ましく、特にイットリアからなることが好ましい。反応生成物は、イットリウムを含む複合酸化物が好ましい。

請求項（抜粋）：

アルミナからなる基体と、この基体上に形成されているイットリウム化合物膜との積層体であって、前記基体と前記イットリウム化合物膜との界面に沿ってアルミナとイットリウム化合物との反応生成物が存在することを特徴とする、積層体。

IPC (4件)：

B32B 9/04 , C04B 41/87 , C04B 41/89 , H01L 21/205

FI (4件)：

B32B 9/04 , C04B 41/87 J , C04B 41/89 Z , H01L 21/205

Fターム (27件)：

4F100AA05B , 4F100AA05C , 4F100AA05D , 4F100AA17B , 4F100AA19A , 4F100AA19C , 4F100AA19D , 4F100AA33B , 4F100AA33C , 4F100AA33D , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100DD07B , 4F100DE01D , 4F100DJ10D , 4F100EH56 , 4F100GB41 , 4F100JA11C , 4F100JB02 , 4F100JK06 , 4F100YY00B , 5F045AA03 , 5F045BB08 , 5F045BB15 , 5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (10件)

耐蝕性部材、ウエハー設置部材および耐蝕性部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-325171 出願人：日本碍子株式会社
窒化アルミニウム焼結体及びそのメタライズ基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-256221 出願人：住友電気工業株式会社
中間材により接合したセラミックス部材およびその接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-275267 出願人：科学技術振興事業団

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