タッチセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-312927
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121136
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】測定力を低減して被測定物表面の微細形状を傷つけることなく、非破壊に測定ができるタッチセンサを提供する。【解決手段】先端に被測定物Wと接触する触針12Aを有するスタイラス12を備えたタッチセンサ10の動作制御構造は、スタイラス12を軸方向に振動させる加振回路3と、スタイラス12の振動変化を検出する検出回路4と、検出回路4からの出力信号に加わるノイズを除去する調整機構5と、検出信号の状態量の変化が一定となるように、微動機構21の動作制御を行う微動機構コントローラ6および微動機構21を動作させるPZT駆動回路7とを含んで構成される。タッチセンサの形状や構成の工夫を行うことなく、タッチセンサに印加する電気的交流信号の調整や検出信号に加わるノイズの低減により表面形状測定における測定力の調整が可能になる。

請求項（抜粋）：

被測定物に接触する触針と、前記触針を振動させるための圧電素子と、前記圧電素子を加振するための加振回路と、前記触針が前記被測定物と接触した際に変化する状態量を検出する検出回路とを備えたタッチセンサであって、前記加振回路における電気的交流信号を調整することで前記触針と前記被測定物との接触により発生する測定力を調整可能としたことを特徴とするタッチセンサ。

Fターム (11件)：

2F069AA60 , 2F069FF00 , 2F069GG01 , 2F069GG02 , 2F069GG11 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069JJ04 , 2F069LL03 , 2F069MM38 , 2F069NN04

引用特許：

出願人引用 (5件)

表面形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221243 出願人：株式会社ミツトヨ
特開昭55-163407
表面追従型測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-248421 出願人：株式会社ミツトヨ

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審査官引用 (1件)

表面形状測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-221243 出願人：株式会社ミツトヨ

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