特許
J-GLOBAL ID:200903050368710230
染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-233104
公開番号(公開出願番号):特開2005-099747
出願日: 2004年08月10日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】 カラーフィルターの薄膜化に対応すべく、染料濃度を高めても異物発生等の問題が発生しないカラーレジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターを提供する。【解決手段】 ケトール系溶剤を含む染料含有レジスト組成物。樹脂、光酸発生剤又は光塩基発生剤、架橋性化合物、染料、及びケトール系溶剤を含有するネガ型レジスト組成物。樹脂、光ラジカル発生剤、架橋性化合物、染料及びケトール系溶剤を含有するネガ型レジスト組成物。樹脂、光酸発生剤、架橋性化合物、染料及びケトール系溶剤を含有するポジ型レジスト組成物。ケトールがβ-ヒドロキシケトンであるレジスト組成物。ケトールが4-ヒドロキシ-4-メチル-2-ペンタノンであるレジスト組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
ケトール系溶剤を含む染料含有レジスト組成物。
IPC (4件):
G03F7/004
, G02B5/20
, G02F1/1335
, H01L27/14
FI (5件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, H01L27/14 D
Fターム (32件):
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025CB16
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025CC03
, 2H025CC13
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H048BB46
, 2H091FA02X
, 2H091FA02Y
, 2H091FA02Z
, 2H091FB02
, 2H091FB12
, 2H091LA01
, 2H091LA07
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118FA06
, 4M118GC07
, 4M118GC17
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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