ネガ型レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201040
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051514
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたネガ型レジスト組成物、並びにそれを用いる、工程管理等の容易なカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物、並びに上記組成物を基体上に塗布後、マスクを通した露光により該露光部を硬化させ、次いで、非露光部を現像除去することからなるカラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：

酸により硬化しうる樹脂、架橋剤、光酸発生剤、染料及び溶剤を含有してなるネガ型レジスト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 505 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/029 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (29件)

特開平4-163552
特開平3-170544
特開平4-136941

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