基板の研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110148
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286763
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】占有面積を減少させたコンパクトな構成で、しかも駆動軸の振動を抑えて安定に稼動することができる基板の研磨装置を提供する。【解決手段】研磨テーブル48と、該研磨テーブルに偏芯位置で連結して該研磨テーブルを並進円運動させる駆動軸68とを備え、前記駆動軸の軸方向所定位置には、周方向に取付位置を調整可能な少なくとも2つのバランサ片84,86が設けられている。

請求項（抜粋）：

研磨テーブルと、該研磨テーブルに偏芯位置で連結して該研磨テーブルを並進円運動させる駆動軸とを備え、前記駆動軸の軸方向所定位置には、周方向に取付位置を調整可能な少なくとも2つのバランサ片が設けられていることを特徴とする基板の研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-207589 出願人：アミテック株式会社
特開平2-062444
スクロール流体機械
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-309316 出願人：三菱電機株式会社

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