特許
J-GLOBAL ID:200903050431177024

倣い測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 實三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-205126
公開番号(公開出願番号):特開2000-039302
出願日: 1998年07月21日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】【課題】 使い勝手および測定効率の向上が可能な倣い測定装置を提供する。【解決手段】 被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルを入力するためのキーボード45と、被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルに対応する基準押し込み量および測定速度を予め記憶した測定条件設定テーブル48と、前記キーボード45から被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルが入力されたことを条件として、測定条件設定テーブル48の中から入力された被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルに対応する基準押し込み量および測定速度を読み出し、その基準押し込み量および測定速度に基づいて三次元測定機Aを動作させるホストコンピュータ44とを備える。
請求項(抜粋):
倣いプローブと被測定物とを相対移動させる移動機構を有し、この移動機構によって倣いプローブを被測定物の表面に所定の測定圧で押圧しながら倣いプローブと被測定物とを相対移動させ、この相対移動軌跡から被測定物の表面輪郭形状を測定する倣い測定装置において、被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルを入力するための入力手段と、被測定物の各表面性状レベルおよび各測定精度レベルに対応する測定圧および測定速度を予め記憶した測定条件設定テーブルと、前記入力手段から被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルが入力されたことを条件として、前記測定条件設定テーブルの中から入力された被測定物の表面性状レベルおよび測定精度レベルに対応する測定圧および測定速度を読み出し、その測定圧および測定速度に基づいて前記移動機構を動作させる制御手段とを備えたことを特徴とする倣い測定装置。
Fターム (8件):
2F062AA51 ,  2F062DD08 ,  2F062DD20 ,  2F062EE62 ,  2F062FF05 ,  2F062HH01 ,  2F062HH13 ,  2F062HH21
引用特許:
審査官引用 (2件)

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