特許
J-GLOBAL ID：200903050456200675
共振走査ミラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-164656
公開番号（公開出願番号）：特開2008-003608
出願日： 2007年06月22日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】走査デバイスがパルスビームに対し、同期精度を向上できる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、照明光学系と、パターニング用デバイスと、基板テーブルと、投影光学系を備える。照明光学系は、ある第1振動数で動作する放射源から受けた放射ビームを調整する。パターニング用デバイスは、ビームにパターンを与える。基板テーブルは、基板を支持するとともに、ある走査速度で基板を走査する。投影光学系は、反射素子と、複数のフレクシュアとを含む走査デバイス(SSM)を有する。複数のフレクシュアは、反射素子が回転軸周りで共振することを可能にするように構成されている。走査デバイスは、パターン付きビームが基板の目標領域をスキャンするように構成されている。走査デバイスの共振振動数は、第1振動数と実質的に同じ値であり、かつ走査速度と同期している。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ある第1振動数で動作する放射源から受けた放射ビームを調整する照明光学系と、
前記ビームにパターンを与えるパターニング用デバイスと、
基板を支持するとともに、ある走査速度で基板を走査する基板テーブルと、
反射素子と、複数のフレクシュアとを含む走査デバイスを有する投影光学系であって、前記複数のフレクシュアは、前記反射素子が回転軸周りで共振できるように構成されており、前記走査デバイスは、パターン付きビームを基板の目標領域上に走査するように構成されている投影光学系と、
を備え、
前記走査デバイスの共振振動数は、前記第1振動数と実質的に同じ値であり、かつ前記走査速度と同期していることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F7/20 501
, H01L21/30 515D
, H01L21/30 529
2H097AA03
, 2H097AB07
, 2H097BB03
, 2H097CA17
, 2H097GB01
, 2H097JA02
, 2H097LA12
, 5F046BA07
, 5F046CA04
, 5F046CB02
, 5F046CB18
, 5F046CB25
, 5F046DA01
