特許
J-GLOBAL ID：200903050498220889
研磨された不透明なプレートの形状と厚さ変化を測定する方法と装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲高▼橋 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-072044
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294432
出願日： 2004年03月15日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】ウエーハ又は研磨された不透明のプレートの厚さ変化と形状を計測する。【解決手段】改良された二つの位相シフトフィゾ(Fizeau)干渉計20、40の組み合わせを用いて、ウエーハ60の側面61又は62の各々とそれに対応する基準平面32又は52の間の単一側面の間隔マップを同時に計測し、コンピュータ38、58でこれらのデータから厚さ変化と形状を計算する。基準表面の形状と傾斜を判定及び除去する為、及び、厚さ変化と形状の計算の為の二つの単一側面計測の正しい重ね合わせを容易にする為に、諸対策を講じる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
研磨された不透明のプレートの厚さ変化と形状を計測する為の方法であって:
プレート(60)の相対する表面(61と62)をマップするために、研磨された不透明のプレート(60)を二つの向かい合った干渉計チャネル内の基準平面(32と52)の間に形成される空洞内に置き;
二つの干渉計チャネル(58、88、90、92、94)内の干渉像の位相シフトを同期させ;
該空洞を形成する該基準平面(32と52)の空洞特性を計測し;
該プレート(60)の相対する表面(61と62)の表面マッピング及び該空洞特性の計測から(38と58における)該プレート(60)の厚さ変化を決定する;
ことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 D
, H01L21/66 P
2F065AA30
, 2F065AA31
, 2F065AA51
, 2F065CC03
, 2F065CC19
, 2F065FF49
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065GG25
, 2F065LL36
, 2F065RR07
, 4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106CA38
, 4M106CA48
, 4M106DH03
, 4M106DH32
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-053591
出願人：株式会社神戸製鋼所
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特開平3-238305
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対向平面平行度測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-370527
出願人：株式会社ミツトヨ
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