特許

J-GLOBAL ID：200903050506055400

ダイヤフラムバルブ

発明者： ジョン・エイ・レイス ,  マイケル・エイ・スタイン
出願人/特許権者： フルオロウェア・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡田 英彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244314
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115378
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】三方バルブとして構成されておりかつピストン駆動のアクチュエータの利点を有するダイヤフラムバルブを提供する。【解決手段】ダイヤフラムバルブは軸と第1のチャンバと第2のチャンバ及びスプリングチャンバとを有するバルブ本体を有する。バルブ本体はさらに第1のバルブシートと、該第1のチャンバと連通した第1のフローダクトと、第2のチャンバと連通した第2のフローダクトとを有する。バルブ本体内で軸方向に可動なバルブステムアッセンブリは第1のバルブ部材と、バルブ本体とシール係合する第1のダイヤフラムとを有し、第1のバルブ部材は第1のバルブシートに対する閉位置と開位置との間で可動であり、第1のダイヤフラムは第1のバルブシートとスプリングチャンバとの間を隔離している。スプリングチャンバ内にはバルブステムアセンブリを軸方向に付勢するスプリングが配置されており、二重封じ込めダイヤフラムがこのスプリングをバルブシートから二次的に隔離する。

請求項（抜粋）：

ダイヤフラムバルブであって、a)軸と、第1のチャンバと、該第1のチャンバに隣接する第2のチャンバと、該第2のチャンバに隣接するスプリングチャンバとを有するバルブ本体であって、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバとの中間に設けられた第1のバルブシートと、前記第1のチャンバと連通した第1のフローダクトと、前記第2のチャンバと連通した第2のフローダクトとを有するバルブ本体と、b)前記本体の中で軸方向に可動なバルブステムアセンブリであって、前記第1のバルブシートに適合した寸法の第1のバルブ部材と、該第1のバルブ部材から外側へ延びていて前記バルブ本体とシール状態で係合する第1のダイヤフラムとを有し、前記第1のバルブ部材が前記第1のバルブシートに対する閉位置と開位置との間で可動であり、前記第1のダイヤフラムが前記第1のバルブシートと前記スプリングチャンバとの間を隔離している、バルブステムアセンブリと、c)前記スプリングチャンバ内に配置されて前記バルブステムアセンブリを軸方向に付勢するスプリングと、d)前記バルブ本体とシール状態で係合し、前記スプリングを前記バルブシートから二次的に隔離する、二重封じ込めダイヤフラムと、を有するダイヤフラムバルブ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-177379
  
• ポペット形方向切換弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-201641   出願人：株式会社コガネイ
• 二重封じ込め式高純度流体用弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-235162   出願人：サエス・ピュア・ガス・インコーポレイテッド
• 特開昭56-035870