特許
J-GLOBAL ID：200903050607848125

着色感光性樹脂組成物

発明者：
市川 幸司

市川 幸司 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-037623
公開番号（公開出願番号）：特開2006-259708
出願日： 2006年02月15日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：
【課題】スリットコーターにより平坦性が良好な膜を形成し得る着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、溶剤(E)および界面活性剤(F)を含有する着色感光性樹脂組成物であって、23°Cにおける該組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、該組成物2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が10°以上20°以下であり、かつ、溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3-エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、界面活性剤(F)が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
着色剤(A)、バインダー樹脂(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、溶剤(E)および界面活性剤(F)を含有する着色感光性樹脂組成物であって、23°Cにおける該組成物の粘度が2.0mPa・s以上5.0mPa・s以下であり、かつ、100μmのラインアンドスペースパターンをパターンニング(膜厚:a)したガラス基板を水平面に対して30度傾けてその上部に該組成物を1滴滴下し、ラインアンドスペースパターンに対して平行に滴下物を流下させた後、100°Cで3分間ベークした後の100μmのライン上とスペース上の膜段差をbとしたとき、式(1)で表される平坦化率が0.20以上1.00以下であり、 平坦化率:(a-b)/a (1) かつ、該組成物2μLをガラス基板上に滴下して0.2秒後の接触角が10°以上20°以下であり、かつ、溶剤(E)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3-エトキシプロピオン酸エチルとを含有し、該組成物中の溶剤(E)の含有量が、該組成物に対して質量分率で、80質量%以上95質量%以下であり、かつ、界面活性剤(F)が、シリコーン系界面活性剤およびフッ素原子を有する化合物からなるシリコーン系界面活性剤からなる群から選ばれる少なくとも1種であり、該界面活性剤の含有量が、該組成物の固形分に対して質量分率で、0.01質量%以上0.15質量%以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/16 ,  G02B 5/20 ,  G02F 1/133
FI (7件)：
G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/16 501 ,  G03F7/004 504 ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/1335 505
Fターム (29件)：
2H025AA02 ,  2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025CA00 ,  2H025CB00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC11 ,  2H025EA04 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA02Y ,  2H091FC12 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (10件)
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