特許
J-GLOBAL ID：200903084309083134

感光性樹脂組成物

発明者：
市川 幸司

市川 幸司 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-431906
公開番号（公開出願番号）：特開2005-189574
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる、新たな透明膜形成用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)光重合開始助剤および(E)溶剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)バインダー樹脂が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体と、さらに(A4)とを反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、かつ(C)光重合開始剤が、少なくとも1種のアセトフェノン化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物(A3);不飽和カルボン酸(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)光重合開始助剤および(E)溶剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)バインダー樹脂が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体と、さらに(A4)とを反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、かつ(C)光重合開始剤が、少なくとも1種のアセトフェノン化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。 (A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物 (A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物 (A3);不飽和カルボン酸 (A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
IPC (7件)：
G03F7/038 ,  C08F2/50 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033
FI (8件)：
G03F7/038 501 ,  G03F7/038 503 ,  C08F2/50 ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/1335 500 ,  G02F1/1339 500 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033
Fターム (46件)：
2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025BD23 ,  2H025BD43 ,  2H025CA02 ,  2H025CA03 ,  2H025CA06 ,  2H025CA27 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC11 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H089LA09 ,  2H089MA03X ,  2H089NA14 ,  2H089QA16 ,  2H089TA12 ,  2H091FA02Y ,  2H091GA16 ,  2H091LA15 ,  2H091LA30 ,  4J011QA03 ,  4J011QA09 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011QA38 ,  4J011QA46 ,  4J011SA05 ,  4J011SA15 ,  4J011SA25 ,  4J011SA61
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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