合成石英ガラスおよびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364161
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239031
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】優れた真空紫外線透過性を安定して発揮する合成石英ガラスの提供。【解決手段】OH基含有量が10ppm未満であり、かつ還元型欠陥を実質的に含有しないことを特徴とする合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

波長175nm以下の真空紫外域の光に使用される合成石英ガラスであって、合成石英ガラス中のOH基含有量が10ppm未満であり、かつ還元型欠陥を実質的に含有しないことを特徴とする合成石英ガラス。

IPC (3件)：

C03B 20/00 , C03B 8/04 , C03C 3/06

FI (4件)：

C03B 20/00 F , C03B 8/04 L , C03B 8/04 M , C03C 3/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

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